ASTM F523-2002 抛光硅片表面的无辅助设备目视检验的标准实施规程
作者:标准资料网
时间:2024-05-11 21:27:10
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【英文标准名称】:StandardPracticeforUnaidedVisualInspectionofPolishedSiliconWaferSurfaces
【原文标准名称】:抛光硅片表面的无辅助设备目视检验的标准实施规程
【标准号】:ASTMF523-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:玻璃的;外观检查(试验);硅;垫圈;试验;电子工程
【英文主题词】:collimatedlight;defects;high-intensitylight;particle;polished;silicon;visualinspection
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thispracticecoversaninspectionprocedurefordeterminingthesurfacequalityofsiliconwafersthathavebeenpolishedononeside.1.2Thispracticeisintendedasalar
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:5P.;A4
【正文语种】:
【原文标准名称】:抛光硅片表面的无辅助设备目视检验的标准实施规程
【标准号】:ASTMF523-2002
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:玻璃的;外观检查(试验);硅;垫圈;试验;电子工程
【英文主题词】:collimatedlight;defects;high-intensitylight;particle;polished;silicon;visualinspection
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thispracticecoversaninspectionprocedurefordeterminingthesurfacequalityofsiliconwafersthathavebeenpolishedononeside.1.2Thispracticeisintendedasalar
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:5P.;A4
【正文语种】:
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